石英燈罩

採用高純度石英製作而成的石英燈罩，高純度石英可使紫外光線透光率達最大值，進一步發揮紫外線燈管之效能，各種石英套管可細分長度大小，特殊規格可專門為客戶訂製

石英特性

低熱膨脹係數
高耐溫性
高化學穩定性
優良的電絕緣性
純度高、耐腐蝕
軟化溫度高、耐熱性強
熱膨脹係數低、抗熱沖擊

紫外線穿透率

穿透率: UVA > UVB > UVC
石英能使紫外線有效的穿透
- 石英玻璃 > 60%
- 高硼玻璃 < 50%
- 普通玻璃 < 30%

石英燈罩於純水系統中的用途

石英燈罩在超純水系統的桶槽中，用於支撐以及隔絕紫外線燈管與純水的直接接觸。

燈罩的透光率高低會影響燈管散發至水中的UVC輻射量，進而影響到處理水中TOC的能力，若是使用低透光率的石英燈罩將會間接造成水質不良而使晶圓的製程不良率上升。

因此品質良好的燈罩必須要有堅固耐用，以及高透光率的特性。